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目前，客戶可以從WorX公司購(gòu)買新的JIMA（日本檢測(cè)儀器制造商協(xié)會(huì)）分辨率測(cè)試卡RT RC-04。新的測(cè)試卡可以用來檢測(cè)微焦點(diǎn)和納焦點(diǎn)X射線系統(tǒng)的最大分辨率。

JIMA分辨率測(cè)試卡RT RC-04，提供了23個(gè)測(cè)試區(qū)域，每個(gè)區(qū)域成T型的黑白條相間。利用RT RC-04，可以檢驗(yàn)從0.1微米到10微米的分辨率，相對(duì)應(yīng)的焦點(diǎn)尺寸是0.2微米到20微米，新的測(cè)試卡能夠滿足半導(dǎo)體行業(yè)的新要求，檢驗(yàn)并校準(zhǔn)這一工業(yè)領(lǐng)域的納焦點(diǎn)和微焦點(diǎn)X射線系統(tǒng)。

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